自動(dòng)粘片機(jī)核心組成部件的功能特點(diǎn)詳解
更新時(shí)間:2026-02-04 點(diǎn)擊次數(shù):27次
自動(dòng)粘片機(jī)是半導(dǎo)體封裝、光電子器件及封裝制造中的關(guān)鍵設(shè)備,用于將切割后的晶圓芯片高精度拾取并貼裝到引線框架、基板或載體上。自動(dòng)粘片機(jī)以微米級(jí)定位、毫秒級(jí)響應(yīng)與潔凈可靠為核心優(yōu)勢(shì),整機(jī)性能高度依賴各功能模塊的協(xié)同精度。以下為核心組成部件的功能特點(diǎn)詳解:

一、高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
直線電機(jī)+光柵全閉環(huán)系統(tǒng):X/Y/Z軸采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),加速度>2g,定位精度達(dá)±1μm;
θ軸旋轉(zhuǎn)平臺(tái):0.001°分辨率,實(shí)現(xiàn)芯片角度精密校正,滿足多芯片對(duì)位需求;
大理石基座+主動(dòng)隔振:有效抑制車間振動(dòng),保障亞微米級(jí)貼裝穩(wěn)定性。
二、智能視覺識(shí)別系統(tǒng)
雙相機(jī)協(xié)同(上視+下視):
上相機(jī)識(shí)別基板Mark點(diǎn),下相機(jī)抓取芯片位置與角度;
分辨率可達(dá)5–10μm/pixel,支持透明膠、倒裝芯片等復(fù)雜場(chǎng)景;
AI圖像算法:自動(dòng)剔除崩邊、裂紋、污染等不良芯片,提升良率。
三、精密拾取與貼裝頭
真空吸嘴陣列:多規(guī)格陶瓷/不銹鋼吸嘴(Φ50–500μm),適配不同尺寸芯片(0.3×0.3mm至10×10mm);
Z軸力控系統(tǒng):貼裝壓力0.1–10N可調(diào),重復(fù)精度±0.05N,避免脆性芯片碎裂;
點(diǎn)膠/蘸膠模塊(可選):支持環(huán)氧樹脂、銀膠等,膠量控制精度±1%。
四、晶圓供料與藍(lán)膜處理單元
自動(dòng)晶圓臺(tái):兼容6–12英寸晶圓,自動(dòng)對(duì)中與藍(lán)膜張緊;
UV解膠裝置(可選):對(duì)DAF膜進(jìn)行局部照射,降低粘性便于拾取;
廢膜卷收系統(tǒng):自動(dòng)收集使用后藍(lán)膜,保持工作區(qū)潔凈。
五、智能控制系統(tǒng)與軟件
PLC+工控機(jī)集成平臺(tái):預(yù)存數(shù)百種封裝工藝配方;
SPC過(guò)程監(jiān)控:實(shí)時(shí)統(tǒng)計(jì)UPH(每小時(shí)貼裝數(shù))、良率、偏移量,生成CPK報(bào)告;
MES對(duì)接:支持SECS/GEM通信協(xié)議,實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)追溯與遠(yuǎn)程診斷。
上一篇:沒有了 下一篇:定期維護(hù)碲鋅鉻材料磨拋機(jī)是保障加工精度與材料利用率的關(guān)鍵
